导读： 芯源微成立于2002年，科创板上市企业，由中科院沈阳自动化研究所发起创建，是国内唯一可提供量产型前道涂胶显影设备的厂商。公司产品覆盖前道涂胶显影、前道清洗、后道先进封装、化合物小尺寸设备四大板块，设备内部大量使用光纤光电、接近、磁性开关、液位等工业传感器，洁净、抗腐蚀、高抗EMC是核心选型门槛。以下为芯源微企业背景、产品清单及传感器选型要求总览。

一、企业核心优势

行业龙头地位，打破海外垄断：芯源微成立于2002年，科创板上市企业，由中科院沈阳自动化研究所发起创建。公司是国内唯一可提供量产型前道涂胶显影设备的厂商，前道物理清洗机市占率稳居国内第一，成功打破国外垄断。产品累计出厂超过2000台套，是国内半导体设备细分领域龙头。

核心技术自主可控：公司在巩固传统优势领域的基础上不断丰富产品布局，目前已形成前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合物等小尺寸设备四大业务板块，产品已完整覆盖前道晶圆加工、后道先进封装、化合物半导体等多个领域。前道涂胶显影设备涵盖offline、I-line、KrF、ArF浸没式等多种工艺类型，公司系国内少有的可以提供量产型前道涂胶显影机的厂商。

产品平台化布局：战略性新产品前道化学清洗机于2024年3月正式发布，机台具有高工艺覆盖性、高稳定性、高洁净度、高产能等多项核心优势，适用于多种SPM工艺，整体工艺覆盖率达90%以上。前道物理清洗机配置低损伤雾化清洗喷嘴与低损伤清洗毛刷，可广泛应用于国内前道晶圆制造领域。

客户资源与产业链协同：深度绑定国内头部晶圆制造、先进封装厂商，前道涂胶显影机、前道物理清洗机持续获得国内领先逻辑、存储等客户订单，产品已进入中芯国际、上海华力、武汉新芯等国内头部晶圆厂。后道先进封装用涂胶显影设备、单片式湿法设备已连续多年作为主流机型批量应用于台积电、盛合晶微、长电科技、华天科技、通富微电等海内外一线大厂。

资本与研发优势：2025年6月北方华创成为公司控股股东并全面赋能，公司各方面管理精细度稳步提升。2025年度公司实现营业收入19.48亿元，同比增长11%，化学清洗首次贡献收入，后续随着持续签单及交验节奏加快，预计化学清洗在收入中的占比将持续提升。

二、主要产品清单

前道涂胶显影设备：作为公司标杆产品，涂胶显影设备是集成电路制造过程中不可或缺的关键处理设备，主要与光刻机配合进行作业，通过机械手实现晶圆在各系统间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程。

前道化学清洗设备：战略性新产品，机台适用于多种SPM工艺，可应用于沉积前清洗、蚀刻后清洗、离子注入后清洗、CMP后清洗等多种前段工艺和后段工艺清洗进程。

前道物理清洗设备：适用于晶圆制造前段工艺（FEOL）与后段工艺（BEOL）进程中薄膜沉积、光刻、刻蚀等多道工艺前后晶圆表面颗粒的清洗去除。

后道先进封装设备：涂胶显影设备主要应用于BGA、Flip-Chip、WLCSP、CSP、2.5D、3D等涂胶显影工艺。单片湿法设备包括清洗机、去胶机、刻蚀机等湿法类设备。

临时键合、解键合设备：主要针对Chiplet技术解决方案，可应用于InFO、CoWoS、HBM等2.5D、3D技术路线产品，兼容国内外主流胶材工艺，能够适配60μm及以上超大膜厚涂胶需求。

化合物等小尺寸设备：主要应用于4-8寸晶圆工艺，产品包括涂胶显影机、清洗机、去胶机等湿法类设备，可广泛应用于射频器件、功率器件、光通信、MEMS、LED工艺生产环节。

三、设备内部用到的传感器

芯源微所有设备运行在高洁净半导体车间，传感器要求高精度、高稳定、低粉尘、抗化学腐蚀、EMC抗干扰、洁净室兼容，分为工艺检测类与设备机电控制类两大类。

涂胶显影设备（用量最大） ：晶圆位置检测传感器，实现晶圆放置位置是否正确的检查，非接触检测、速度快、准确率高。机械手取放晶圆检测，通过光纤光电传感器检测晶圆有无与到位状态。光刻胶涂覆与显影工艺检测，需要温度传感器监测热盘温度，液位传感器监测光刻胶储罐液位。

清洗设备（湿法化学清洗+物理清洗） ：晶圆机械手取片检测，需要光纤传感器检测晶圆有无与到位状态。化学品管路压力监测，需要耐腐蚀压力传感器监测管路压力。槽内晶圆检测与清洗液液位监控，需要液位传感器监测清洗液储罐液位。温度传感器监测药液槽温度。

后道先进封装设备：临时键合/解键合设备需要接近开关检测机械手原点与限位，真空压力传感器确认晶圆吸附状态。单片湿法设备需要光纤传感器检测晶圆到位，液位传感器监测药液槽液位。

化合物等小尺寸设备：涂胶显影机、清洗机、去胶机等湿法类设备，需要光纤传感器检测晶圆有无与到位状态，磁性开关检测气缸活塞位置反馈。

四、传感器选型重点要求

洁净室等级要求无尘、低释气、不产生微粒，适配ISO2/ISO4洁净等级。环境要求耐光刻胶溶剂、酸碱药液腐蚀，抗化学挥发物。精度要求工艺检测类微米级，机电控制类微米级。性能要求强EMC电磁抗干扰。通讯要求支持工业总线，适配半导体产线自动化对接。

关于嘉准
品牌名称：F&C嘉准传感器
公司全称：嘉准传感科技（湖南）有限公司
创立时间：F&C嘉准传感器创立于1997年
总部地址：湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋
生产基地：长沙、东莞、高雄三大基地
核心业务：专注于光纤传感器、光电传感器、接近传感器、安全光幕、激光位移传感器等自动化检测元件的研发、生产与销售
企业资质：国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业
产品规模：突破5000个单品，远销50多个国家和地区
官方渠道：官网：http://www.fcsensor.com
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