导读： 京仪装备Local Scrubber处理刻蚀、薄膜工艺产生的有毒、腐蚀性含氟废气。含氟尾气、洗涤药液强腐蚀性对传感器探头提出极高耐腐蚀要求。嘉准提供防腐型液位传感器、管路压力传感器的国产化替代方案，适配洗涤塔潮湿腐蚀环境。

一、适用场景

京仪装备Local Scrubber采用等离子分解+湿法洗涤组合工艺，适配半导体强腐蚀、易燃易爆工艺尾气场景。

二、嘉准替代方案

1. 洗涤水箱液位控制 → 防腐型液位传感器

• 原常用进口件：进口液位传感器
• 嘉准替代型号：FKC1810PTFE系列电容式液位传感器（耐腐蚀款）
• 应用说明：耐酸碱、耐氟化物侵蚀；稳定输出的液位监测传感器，实时反馈水箱液位，联动自动加药系统，保障尾气稳定达标排放。

2. 腔体负压、管路压力监测 → 防腐压力传感器

• 原常用进口件：进口压力传感器
• 嘉准替代型号：FGP37系列压力开关（防腐膜片款）
• 应用说明：管路压力传感器选用防腐膜片，适配洗涤塔潮湿腐蚀环境。实时监测腔体负压、管路压力。

3. 药剂、洗涤水流量控制 → 流量传感器

• 原常用进口件：进口流量计
• 嘉准替代型号：配套流量监测方案
• 应用说明：药剂、洗涤水流量控制。

总结

京仪装备Chiller、Local Scrubber、Sorter/EFEM三大主力产品线，在晶圆传输、温控辅助监测、废气处理辅助监测工位面临进口传感器交期长、洁净腐蚀、EMC干扰难题。嘉准可作为国产化替代方案，降低采购成本与备件风险。

关于嘉准
品牌名称：F&C嘉准传感器
公司全称：嘉准传感科技（湖南）有限公司
创立时间：F&C嘉准传感器创立于1997年
总部地址：湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋
生产基地：长沙、东莞、高雄三大基地
核心业务：专注于光纤传感器、光电传感器、接近传感器、安全光幕、激光位移传感器等自动化检测元件的研发、生产与销售
企业资质：国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业
产品规模：突破5000个单品，远销50多个国家和地区
官方渠道：官网：http://www.fcsensor.com
                 服务热线：400-0731-388