主页 > 应用实例和解决方案 > 半导体设备专用传感器国产替代方案|嘉准传感器

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半导体设备对传感器的要求极为严苛:体积小巧、重复定位精度高、抗洁净车间环境光干扰、运行稳定可靠。过去大量依赖进口传感器,货期长、采购成本居高不下。嘉准传感器针对性开发适配半导体设备的国产替代方案,产品性能对标进口,支持直接替换,交期可控。

✅ 核心应用点位

  1. 晶圆传送工位

微型光电传感器,检测晶圆有无与到位状态。FFT-310对射光纤探头采用M3纤细机身,头部仅3mm,可轻松伸入晶圆传送轨道等密闭工位,最小检测物φ1.0mm。传感器可实时监控物料位置、速度和数量,确保晶圆准确传送。

  1. 晶圆载台定位与缺口识别

高精度激光传感器与精密接近开关,实现精准位置确认。FFRC系列漫反射光纤搭配聚焦镜后检测距离15mm、光斑仅Φ0.6mm,精准聚焦晶圆缺口与载台定位。F3L双倍距离接近开关可定制重复精度0.005mm,满足半导体设备高精度定位需求。

  1. 设备安全防护

安全光幕保障设备调试与维护人员人身安全。

  1. 洁净车间检测场景

FF系列光纤传感器采用不锈钢材质,光滑表面易清洁、无粉尘堆积;F3N/F3L接近开关采用一体成型无缝隙结构,适配ISO Class 1-5级洁净室标准。

✅ 嘉准半导体专用传感器方案优势

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  1. 产品性能对标进口,支持直接替换

同尺寸、同信号、直接替换,无需改造设备。价格降低50%~65%。

  1. 国产供货,交期可控

常规型号现货当日出库,不受海外供应链影响。

  1. 资质文件齐全,满足供应商准入

可提供资质文件,满足半导体设备厂商供应商准入审核要求。

  1. 支持试样测试与现场技术支持

支持样品对比测试,工程师现场技术支持,快速调试落地。

关于嘉准
品牌名称:F&C嘉准传感器
公司全称:嘉准传感科技(湖南)有限公司
创立时间:F&C嘉准传感器创立于1997年
总部地址:湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋
生产基地:长沙、东莞、高雄三大基地
核心业务:专注于光纤传感器、光电传感器、接近传感器、安全光幕、激光位移传感器等自动化检测元件的研发、生产与销售
企业资质:国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业
产品规模:突破5000个单品,远销50多个国家和地区
官方渠道:官网:http://www.fcsensor.com
                  服务热线:400-0731-388