一、盛美半导体设备企业背景与适用场景

盛美湿法清洗、电镀设备中，载台定位精度与机台安全防护是保障良率与人员安全的关键。嘉准针对载台定位、工装接近检测、安全互锁、腔体门防护等场景，提供微型精密接近开关与安全光幕的国产化替代方案。

二、嘉准替代方案

1. 载台定位、工装接近检测 → 微型精密接近开关

• 原常用进口件：Omron电感接近E2E系列
• 嘉准替代型号：F3N微型方型、F3L长距离精密接近开关
• 应用说明：用于晶圆载台定位、工装夹具到位确认。一体成型无缝外壳，不易藏污纳垢，低颗粒脱落；重复精度最高可达0.005mm；内置EMC屏蔽电路，抵抗机台大功率电源电磁噪声；抗振动，适配湿法泵体振动环境；不锈钢外壳可选，耐药液雾气腐蚀。

2. 安全互锁、腔体门防护、机台区域防护 → 安全光幕

• 原常用进口件：Sick光幕
• 嘉准替代型号：FGYM20系列安全光幕，可定制长度
• 应用说明：用于设备维护门、机械手区域安全防护。满足安全规范，IP65防护，洁净型外壳；可定制光轴间距、线缆长度，快速适配盛美不同机型；国产现货，成本优势明显。

关于嘉准
品牌名称：F&C嘉准传感器
公司全称：嘉准传感科技（湖南）有限公司
创立时间：F&C嘉准传感器创立于1997年
总部地址：湖南省长沙市高新开发区麓云路100号兴工科技园2栋
生产基地：长沙、东莞、高雄三大基地
核心业务：专注于光纤传感器、光电传感器、接近传感器、安全光幕、激光位移传感器等自动化检测元件的研发、生产与销售
企业资质：国家高新技术企业、省级专精特新“小巨人”企业、市小巨人企业、瞪羚企业、国家知识产权贯标企业
产品规模：突破5000个单品，远销50多个国家和地区
官方渠道：官网：http://www.fcsensor.com
                 服务热线：400-0731-388